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申请/专利权人：通快激光与系统工程有限公司
摘要：本发明涉及一种用于工件23'的激光加工的方法，该方法包括：将优选脉冲式的激光束分裂为多个子光束22'，每个子光束具有两种不同偏振状态之一；以及通过将该多个子光束22'聚焦在连贯相互作用区域25的至少部分重叠的多个子区域25A'中来加工该工件23'，其中各自具有不同偏振状态的子光束22'被聚焦到连贯相互作用区域25的相邻的子区域25A'中。本发明还涉及一种用于工件23'的激光加工的加工光具，并且还涉及一种具有这样的加工光具的激光加工设备。
主权项：1.一种用于工件23，23'，23”，57，101，107的激光加工的方法，该方法包括：将激光束12，3分裂为多个子光束22，22'，22”，5a，5b，所述多个子光束分别具有两种不同偏振状态s，p之一，通过将该多个子光束22，22'，22”聚焦在线形的连贯相互作用区域25，59，103，109的至少部分重叠的多个子区域25A，25A'，25A”，59A中来加工该工件23，23'，23”，59，101，107，其中，除了相互作用区域的两端处的子区域之外，每个子区域恰好邻接两个相邻子区域，并且与这两个相邻子区域部分重叠，其中，所述连贯相互作用区域25，59，103，109的至少两个子区域25A'，59A在纵向方向Z上相对于彼此错开，所述连贯相互作用区域的子区域具有附加的在横向方向上的错开，其中，各自具有不同偏振状态s，p的子光束22，22'，22”被聚焦到该连贯相互作用区域25，59，103，109的相邻的子区域25A，25A'，25A”，59A中，以消除具有相同偏振状态的子光束的干涉效应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 通快激光与系统工程有限公司 用于工件的激光加工的方法、加工光具和激光加工设备
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