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申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：沉积源的控制系统包括：沉积源，包括加热器并且向基板提供沉积材料；传感器，检测提供给基板的沉积材料的量；速率计算器，基于提供给基板的沉积材料的量来计算第一沉积速率；以及滤波器，通过从第一沉积速率去除噪声来计算第二沉积速率。沉积源的控制系统可以由通过去除噪声的稳定信号改善沉积质量。
主权项：1.沉积源的控制系统，包括：沉积源，包括加热器并且向基板提供沉积材料；传感器，检测提供给所述基板的所述沉积材料的量；速率计算器，基于提供给所述基板的所述沉积材料的所述量来计算第一沉积速率；以及滤波器，通过从所述第一沉积速率去除噪声来计算第二沉积速率。
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