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一种便于取放晶圆片的晶圆盒 

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申请/专利权人:上海诺富班密封技术有限公司

摘要:本实用新型涉及晶圆存放技术领域,且公开了一种便于取放晶圆片的晶圆盒。该一种便于取放晶圆片的晶圆盒,包括:外壳,所述外壳的上方嵌合安装有滑盖,所述外壳的内部固定安装有连接块,所述连接块的下方固定安装限位杆,且限位杆上穿插安装有滑块,所述滑块上固定安装有无纺布,且滑块的右侧固定安装有限位块,在存放晶圆时能够通过提升块带动承接块从外壳底部上升至外壳的中部,滑块上的梯形凸起结构与梯形结构的旋转块能够增加放置晶圆时的容错,并且滑块与旋转块能够使晶圆以竖直状态向下移动,便于晶圆底部能够进入承接块上的胶套内部,在将晶圆取出时旋转块能够通过旋转的方式取消对晶圆的固定便于晶圆的拿取。

主权项:1.一种便于取放晶圆片的晶圆盒,包括:外壳1,所述外壳1的上方嵌合安装有滑盖11,所述外壳1的内部固定安装有连接块2,其特征在于,所述连接块2的下方固定安装限位杆21,且限位杆21上穿插安装有滑块22,所述滑块22上固定安装有无纺布24,且滑块22的右侧固定安装有限位块23,所述滑块22上活动安装有旋转块25,所述旋转块25上固定安装有橡胶垫26,所述滑块22的下方固定安装有连接杆27,所述连接杆27的下方固定安装有承接块28,且承接块28上固定安装有胶套29,所述承接块28的左右两侧固定安装有提升块210,所述提升块210与限位块23上活动安装有滑轮211。

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权利要求:

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