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申请/专利权人：江苏辉伦太阳能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种离子注入选择性扩散制备双结双面PERC电池的方法，其制备方法为：1、在P型硅片上进行高温磷扩散，此时硅片结构为N‑P‑N；2、单面去PSG；3、去PSG的一面使用离子注入进行大剂量硼扩散，此时硅片结构为N‑P‑N‑P；4、双面去PSGBSG；5、双面进行富氢含氮钝化膜镀膜；6、双面印刷并烧结。因为硼在硅中的扩散系数比磷小，属于慢扩散，所以使用常规扩散炉高温扩散无法实现新的P型层的设计，必须使用离子注入进行大剂量硼烷注入。此N‑P‑N‑P双结双面电池设计相比常规的N‑P单结双面设计，其电压可以得到大幅提升，同时背面受光时，其光的转化率可以更高，提升电池片的电流，故电池片的效率得到大幅提升。
主权项：1.一种双结双面PERC电池，其特征在于，包括：P型硅片基底，所述P型硅片基底两侧设有通过高温磷扩散形成的N型层；所述两个N型层其中之一远离P型硅片基底的一面设有通过离子注入硼扩散形成的P型层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏辉伦太阳能科技有限公司 一种双结双面PERC电池及其制作方法
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