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申请/专利权人：日本特殊陶业株式会社
摘要：能够更换照射等离子体的部位，且容易从等离子体照射装置照射等离子体。等离子体照射装置100具有朝向前端部引导气体的气体引导路径22和在气体引导路径22内产生等离子体的放电部23。等离子体照射装置100具备作为把持部发挥功能的基部15和以能够相对于基部15装卸的方式安装于基部15的装卸部件12。装卸部件12具有气体引导路径22的前端部和放电部23。
主权项：1.一种等离子体照射装置，具有：气体引导路径，其朝向前端部引导气体；和放电部，其在所述气体引导路径内产生等离子体，其中，该等离子体照射装置具备：基部，其作为把持部发挥功能；和装卸部件，其具有所述气体引导路径的所述前端部和所述放电部，以能够相对于所述基部装卸的方式安装于所述基部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本特殊陶业株式会社 等离子体照射装置
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