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晶圆加工用粘结膜 

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申请/专利权人:利诺士尖端材料有限公司

摘要:本发明提供一种晶圆加工用粘结膜,其包括:多层基材,包括上部基材层及下部基材层;第一粘结剂层,配置在上述上部基材层上;以及第二粘结剂层,配置在上述上部基材层与下部基材层之间,上述第二粘结剂层由第二粘结组合物制成,上述第二粘结组合物包含粘结树脂及核‑壳纳米粒子,根据本发明,在加工晶圆时,晶圆的表面保护效果优秀,可控制粘结剂层的流动性。

主权项:1.一种晶圆加工用粘结膜,其特征在于,包括:多层基材,包括上部基材层及下部基材层;第一粘结剂层,配置在上述上部基材层上;以及第二粘结剂层,配置在上述上部基材层与下部基材层之间,上述第二粘结剂层由第二粘结组合物制成,上述第二粘结组合物包含粘结树脂及核-壳纳米粒子,上述核-壳纳米粒子的核为玻璃化转变温度达到-50℃~40℃的聚烷基甲基丙烯酸酯,上述核-壳纳米粒子的壳为玻璃化转变温度达到50℃~150℃的聚烷基甲基丙烯酸酯,相对于上述第二粘结组合物的100重量份的粘结树脂,包含2重量份~8重量份的核-壳纳米粒子,相对于100重量份的上述核-壳纳米粒子,包含1重量份~70重量份的上述壳。

全文数据:

权利要求:

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