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申请/专利权人：奥乐斯科技有限公司
摘要：本发明涉及一种重叠计测装置，可包括：光源单元，其设置为将照明指向形成于晶圆的重叠计测目标；透镜单元，其形成有物镜和透镜焦点致动器，该物镜用于将照明聚光于重叠计测目标中某一点的检测位置，该透镜焦点致动器用于调节物镜与重叠计测目标间的距离；检测单元，其通过从检测位置反射的光束来获取检测位置上的焦点图像；工作台，其用于放置晶圆；以及控制单元，其通过控制透镜单元能够获取重叠计测目标，并处理检测单元检测到的重叠计测目标的第1样本图像及以第1样本图像为基准旋转180度检测到的第2样本图像，对处理后的图像进行差异计算，并计算修正图像，以修正用于检测重叠的图像。
主权项：1.一种重叠计测装置，包括：光源单元，其设置为将照明指向形成于晶圆上的重叠计测目标；透镜单元，其形成有物镜和透镜焦点致动器，所述物镜用于将所述照明聚光于所述重叠计测目标中某一点的检测位置，所述透镜焦点致动器用于调节所述物镜与所述重叠计测目标间的距离；检测单元，其通过从所述检测位置反射的光束来获取所述检测位置上的焦点图像；工作台，其用于放置所述晶圆；以及控制单元，其通过控制所述透镜单元获取所述重叠计测目标，并处理所述检测单元检测到的所述重叠计测目标的第1样本图像和对以所述第1样本图像为基准旋转180度后的所述重叠计测目标所检测到的第2样本图像，对处理后的图像进行差异计算，并计算修正图像以修正用于检测重叠的图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 奥乐斯科技有限公司 重叠计测装置及重叠计测方法
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