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申请/专利权人：株式会社大真空
摘要：在晶体振荡器101中，晶体振动片2、将晶体振动片2的第一激励电极覆盖的第一密封构件3、及将晶体振动片2的第二激励电极覆盖的第二密封构件4通过接合图案层相接合，形成有将包含第一激励电极和第二激励电极的晶体振动片2的振动部22气密密封的内部空间。接合图案层包括，形成为俯视时将振动部22包围的环形而将内部空间气密密封的密封用图案层例如振动侧第一接合图案251、及用于实现布线及电极的导通的导电用图案层例如连接用接合图案253，导电用图案层被配置在周围被所述密封用图案层包围的闭空间内。密封用图案层在晶体振荡器101动作时获得接地电位。
主权项：1.一种压电振动器件，设置有在基板的一个主面上形成有第一激励电极，在所述基板的另一个主面上形成有与所述第一激励电极成对的第二激励电极的压电振动板；将所述压电振动板的所述第一激励电极覆盖的第一密封构件；及将所述压电振动板的所述第二激励电极覆盖的第二密封构件，所述第一密封构件与所述压电振动板相接合，所述第二密封构件与所述压电振动板相接合，从而形成将包括所述第一激励电极和所述第二激励电极的所述压电振动板的振动部气密密封的内部空间，其特征在于：所述第一密封构件与所述压电振动板之间、及所述第二密封构件与所述压电振动板之间，分别通过层叠膜构成的接合图案层相接合，所述层叠膜至少包括由钛构成的基底膜和在该基底膜的上层形成的由金构成的接合膜，所述接合图案层包括，形成为俯视时包围着所述振动部的环形而将所述内部空间气密密封的密封用图案层、及用于实现布线和电极的导通的导电用图案层，所述导电用图案层的一部分配置在作为密封用图案层的环形区域的闭空间内，其余部分被配置在被所述密封用图案层包围而形成的内部空间的区域，该闭空间配置在所述内部空间的外侧，所述密封用图案层在该压电振动器件动作时获得接地电位。
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