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申请/专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
摘要：一种测温设备及方法、激光尖峰退火系统及方法，该测温设备包括：激光产生机构，适用于产生照射激光；光束整形机构，适用于对照射激光的光束进行整形，以使整形后的激光光束照射至待测晶圆表面时在待测晶圆表面形成光强分布均匀的光斑；其中，光斑相对于待测晶圆表面移动；针对光斑移动到的每个位置，光斑对待测晶圆上的位置进行加热，位置在加热的情况下发出热辐射光；光电探测器，适用于对热辐射光进行探测，得到电信号，该电信号用于表征热辐射光的光强；温度转换机构，适用于根据电信号得到晶圆的位置处的温度。
主权项：1.一种测温设备，适用于对晶圆温度进行测量，所述测温设备包括：激光产生机构，适用于产生照射激光；光束整形机构，适用于对所述照射激光的光束进行整形，以使整形后的激光光束照射至待测晶圆表面时在所述待测晶圆表面形成光强分布均匀的光斑；其中，所述光斑相对于所述待测晶圆表面移动；针对所述光斑移动到的每个位置，所述光斑对所述待测晶圆上的所述位置进行加热，所述位置在加热的情况下发出热辐射光；光电探测器，适用于对所述热辐射光进行探测，得到电信号，所述电信号用于表征所述热辐射光的光强；温度转换机构，适用于根据所述电信号得到所述晶圆的所述位置处的温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院空天信息创新研究院 测温设备及方法、激光尖峰退火系统及方法
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