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申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司
摘要：本申请提供了一种机台生产效率的改善方法、装置和加工系统，该方法包括：在预定时间内，获取所有的开始加工时间相邻的两个晶圆组的空闲时间，得到多个空闲时间；计算多个相邻晶圆组的对应的空闲时间的中值，得到多个中值空闲时间，一个相邻晶圆组对应一种加工参数组的组合；计算待加工晶圆组的所有加工顺序对应的总空闲时间，得到多个总空闲时间，总空闲时间为所有的加工顺序相邻两个待加工晶圆组对应的预计空闲时间之和，预计空闲时间为相邻两个待加工晶圆组对应的相邻晶圆组的中值空闲时间；控制机台按照最优加工顺序加工待加工晶圆组，最优加工顺序为最短的总空闲时间对应的加工顺序，解决了加工顺序不合理导致机台的产出效率低的问题。
主权项：1.一种机台生产效率的改善方法，其特征在于，包括：在预定时间内，获取所有的开始加工时间相邻的两个晶圆组的空闲时间，得到多个所述空闲时间，所述晶圆组有N个，所述空闲时间为第K个所述晶圆组的加工结束时刻与第K+1个所述晶圆组的加工开始时刻之间的时间，其中，N≥2，1≤K≤N；计算多个相邻晶圆组的对应的空闲时间的中值，得到多个中值空闲时间，所述中值空闲时间与所述相邻晶圆组一一对应，所述相邻晶圆组包括开始加工时间相邻的且分别对应一个加工参数组的两个所述晶圆组，一个所述相邻晶圆组对应一种所述加工参数组的组合，任意两个所述相邻晶圆组对应的两种所述加工参数组的组合不同，且多个所述相邻晶圆组对应所有的所述加工参数组的组合；计算待加工晶圆组的所有加工顺序对应的总空闲时间，得到多个所述总空闲时间，所述总空闲时间为所有的加工顺序相邻两个所述待加工晶圆组对应的预计空闲时间之和，所述预计空闲时间为相邻两个所述待加工晶圆组对应的所述相邻晶圆组的所述中值空闲时间；控制机台按照最优加工顺序加工所述待加工晶圆组，所述最优加工顺序为最短的所述总空闲时间对应的所述加工顺序。
全文数据：
权利要求：
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