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一种硅片脱胶工装支架 

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申请/专利权人:苏州晶樱光电科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种硅片脱胶工装支架,包括两个平行设置的端板体、设置于两个端板体之间四角的支撑梁、对称设置于两个端板体侧面的异形孔、设置于两个端板体之间并由异形孔支撑的支撑杆、对称设置于端板体上端端部的挂载板以及设置于挂载板上的吊取口;所述吊取口上设置有缓冲结构,所述缓冲结构包括活动设置于吊取口内侧上端的缓冲块,所述缓冲块的顶部设置有第一盲孔,所述第一盲孔的内侧下端设置有缓冲弹簧,内侧上端活动连接有配合柱。该硅片脱胶工装支架,通过设置的缓冲块、配合柱、缓冲弹簧的相互配合可以实现对吊装装置以及挂载板的缓冲保护,避免了刚性接触造成吊装装置以及挂载板的损伤。

主权项:1.一种硅片脱胶工装支架,包括两个平行设置的端板体1、设置于两个端板体1之间四角的支撑梁2、对称设置于两个端板体1侧面的异形孔6、设置于两个端板体1之间并由异形孔6支撑的支撑杆3、对称设置于端板体1上端端部的挂载板4以及设置于挂载板4上的吊取口5;其特征在于:所述吊取口5上设置有缓冲结构,所述缓冲结构包括活动设置于吊取口5内侧上端的缓冲块8,所述缓冲块8的顶部设置有第一盲孔13,所述第一盲孔13的内侧下端设置有缓冲弹簧12,内侧上端活动连接有配合柱10。

全文数据:

权利要求:

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