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申请/专利权人：青岛高测科技股份有限公司
摘要：本发明涉及线切割技术领域，具体涉及一种脱胶控制方法、介质、装置及线切割机。本申请旨在解决现有的线切割机存在的切割效率低的问题。为此目的，本申请的线切割机包括切割框架和安装在切割框架上的主辊组件、进给装置、喷射装置和收集装置。脱胶控制方法包括：切割过程中，获取切割过程信息；根据切割过程信息，判断头部晶棒是否切割完成；当头部晶棒切割完成后，控制喷射装置向与头部晶棒粘接的胶层喷射脱胶液，以使得切割完成的晶片脱胶并收集于收集装置中。本申请可以实现晶棒的连续切割，并且在切割过程中即可实现喷射装置对切割完成的晶棒的不停机脱胶和收集，有利于大幅提升线切割机的切割效率。
主权项：1.一种脱胶控制方法，应用于线切割机，其特征在于，所述线切割机包括切割框架和安装在所述切割框架上的主辊组件、进给装置、喷射装置和收集装置，切割线绕设于所述主辊组件上形成线网，所述进给装置上能够安装晶棒组件，所述晶棒组件包括多根沿进给方向粘接在一起的晶棒，所述进给装置用于带动所述晶棒组件向所述线网进给，所述脱胶控制方法包括：切割过程中，获取切割过程信息；根据所述切割过程信息，判断头部晶棒是否切割完成；当所述头部晶棒切割完成后，控制所述喷射装置向与所述头部晶棒粘接的胶层喷射脱胶液，以使得切割完成的晶片脱胶并收集于所述收集装置中；其中，所述头部晶棒为所述晶棒组件中最先被切割一端的晶棒。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛高测科技股份有限公司 脱胶控制方法、介质、装置及线切割机
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