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申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种晶圆夹持组件，包括：基板和相向安装于基板上的前载板、后载板，各自通过至少一组滑轨与滑块可活动地安装于基板上表面的所述前载板与后载板可相向靠近或相背远离，所述前载板、后载板各自的上表面均开设有一与所述晶圆对应的弧形槽且2个所述弧形槽的侧壁相对设置，当所述晶圆嵌入弧形槽内时，所述晶圆的下表面与2个弧形槽的底面搭接接触，且当所述述前载板与后载板相向靠近时，所述晶圆的外侧表面与2个弧形槽的侧壁接触。本实用新型通过2个载板的相对移动，可以实现对晶圆的接驳与夹持，也便于对晶圆的搬离。
主权项：1.一种晶圆夹持组件，包括：基板（1）和相向安装于基板（1）上的前载板（2）、后载板（3），其特征在于：各自通过至少一组滑轨（41）与滑块（42）可活动地安装于基板（1）上表面的所述前载板（2）与后载板（3）可相向靠近或相背远离，所述前载板（2）、后载板（3）各自的上表面均开设有一与所述晶圆（100）对应的弧形槽（5）且2个所述弧形槽（5）的侧壁相对设置；当所述晶圆（100）嵌入弧形槽（5）内时，所述晶圆（100）的下表面与2个弧形槽（5）的底面搭接接触，且当所述述前载板（2）与后载板（3）相向靠近时，所述晶圆（100）的外侧表面与2个弧形槽（5）的侧壁接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州联讯仪器股份有限公司 晶圆夹持组件
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