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申请/专利权人：潍坊明哲智能科技有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆生产设备技术领域，具体为一种晶圆自动分选机，包括机架、除静电机构、用于放置晶圆盒的晶圆架、与晶圆架对应设置的抓取机构以及与上位机相连的控制器，除静电机构包括真空泵、安装于机架上的壳体、设于壳体内侧的离子风枪以及连接于离子风枪一端的喷嘴；抓取机构包括固定安装于机架内的架体、沿水平方向滑动安装于架体的机械臂以及沿竖直方向滑动安装于机械臂的抓取组件，抓取组件包括两个抓取板。通过控制抓取板取放晶圆，在实现晶圆归类分选的同时，还能够控制抓取板抓取晶圆移动到靠近除静电机构的喷嘴的位置，便于通过除静电机构对晶圆进行除静电，晶圆分选过程无需人工操作，提高了晶圆的分选效率。
主权项：1.一种晶圆自动分选机，包括机架、用于放置晶圆盒的晶圆架、与晶圆架对应设置的抓取机构以及与上位机相连的控制器，机架上固定有多个箱板，该多个箱板围设成箱体，其特征在于：还包括除静电机构，除静电机构包括真空泵、安装于机架上的壳体、设于壳体内侧的离子风枪以及连接于离子风枪一端的喷嘴，喷嘴及真空泵的抽气口伸入到箱体内；晶圆架固定安装于机架内，晶圆架分为待分选区和分选完成区，待分选区和分选完成区均设有多个晶圆盒放置位；抓取机构包括固定安装于机架内的架体、沿水平方向滑动安装于架体且由第一驱动机构驱动的机械臂以及沿竖直方向滑动安装于机械臂且由第二驱动机构驱动的抓取组件；抓取组件包括抓取座及沿前后方向滑动安装于抓取座且由第三驱动机构驱动的两个抓取板，每个抓取板一端设置有用于吸附晶圆的吸盘；控制器的输出端分别与第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、真空泵及离子风枪相连。
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