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非挥发性存储器晶胞 

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申请/专利权人:蒋富成

摘要:本发明公开一种非挥发性存储器晶胞,包含:至少一单位晶胞,每一单位晶胞皆包含有:一鳍状通道,沿一Y方向延伸;一源极及一汲极,分别在该Y方向上相邻该鳍状通道的两端;一第一部分及一第二部分,分别在一X方向上相邻该鳍状通道的两侧,该第一部分包含有一第一浮动闸及一第一控制阀,该第二部分包含有一第二浮动闸及一第二控制阀;以及一第三部分,在一Z方向上相邻该鳍状通道,该第三部分包含有一第三浮动闸及一第三控制闸。通过该第一浮动闸、该第二浮动闸及该第三浮动闸,一个单位晶胞可以储存三个位元数据,有助于提高记忆容量。

主权项:1.一种非挥发性存储器晶胞,其特征在于,包含:至少一单位晶胞,每一单位晶胞皆包含有:一鳍状通道,沿一Y方向延伸;一源极,在该Y方向上相邻该鳍状通道的一端;一汲极,在该Y方向上相邻该鳍状通道的另一端;一氧化层,包含一第一氧化层、一第二氧化层及一第三氧化层;一浮动闸,包含一第一浮动闸、一第二浮动闸及一第三浮动闸;一绝缘层,包含一第一绝缘层、一第二绝缘层及一第三绝缘层;一控制闸,包含一第一控制闸、一第二控制闸及一第三控制闸,该控制闸分别掺杂一杂质,该杂质包含磷、砷、锑、硼及铝其中之一或其组合;一第一部分,在一X方向上相邻该鳍状通道的一侧,该X方向垂直该Y方向,该第一部分依序包含有接近该鳍状通道的该第一氧化层、该第一浮动闸、该第一绝缘层,以及远离该鳍状通道的该第一控制闸;一第二部分,在该X方向上相邻该鳍状通道的另一侧,该第二部分依序包含有接近该鳍状通道的该第二氧化层、该第二浮动闸、该第二绝缘层,以及远离该鳍状通道的该第二控制闸;以及一第三部分,在一Z方向上相邻该鳍状通道,该Z方向垂直该X方向及该Y方向,该第三部分包含有接近该鳍状通道的该第三氧化层、该第三浮动闸、该第三绝缘层,以及远离该鳍状通道的该第三控制闸。

全文数据:

权利要求:

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