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申请/专利权人：上海馨欧集成微电有限公司
摘要：本发明提供一种横向激励兰姆波谐振器及其制作方法，该横向激励兰姆波谐振器包括衬底、压电薄膜及至少一组叉指换能器，其中，压电薄膜位于衬底上方，叉指换能器位于压电薄膜上方，叉指换能器包括交替且间隔排列的多个第一叉指电极组及多个第二叉指电极组，在单个波长周期内具有一第一叉指电极组及一第二叉指电极组，第一叉指电极组包括多个间隔排列的第一叉指电极，第二叉指电极组包括多个间隔排列的第二叉指电极。该兰姆波谐振器通过在单个波长周期中依据极性设置两组具有多个叉指电极的叉指电极组以减小正负极电极的间距，显著增加器件的单位面积电容，有效提升系统集成度并拓展器件应用场景。该制作方法工艺步骤简单且成本低廉。
主权项：1.一种横向激励兰姆波谐振器，其特征在于，包括：衬底；压电薄膜，位于所述衬底上方；至少一组叉指换能器，位于所述压电薄膜上方，所述叉指换能器包括交替且间隔排列的多个第一叉指电极组及多个第二叉指电极组，在单个波长周期内具有一第一叉指电极组及一第二叉指电极组，所述第一叉指电极组包括多个间隔排列的第一叉指电极，所述第二叉指电极组包括多个间隔排列的第二叉指电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海馨欧集成微电有限公司 一种横向激励兰姆波谐振器及其制作方法
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