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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种减压干燥装置、减压干燥方法及程序。本发明的课题在于使形成于基板的上表面的涂膜更均匀地干燥。在腔室内，支撑部从下方支撑基板，排气部排出腔室内的气体环境，供气部向腔室内供给气体。在进行利用排气部的排气及利用供气部的供气中的至少其中一者时，升降部使支撑部反复升降。
主权项：1.一种减压干燥装置，是使形成于基板的上表面的涂膜干燥的减压干燥装置，包括：腔室，收容所述基板；支撑部，在所述腔室内从下方支撑所述基板；升降部，在所述腔室内使所述支撑部在下降位置与比所述下降位置高的上升位置之间沿上下方向升降；排气部，进行从设置在所述腔室的底板部的排气口排出所述腔室内的气体环境的排气；供气部，进行从设置在所述腔室的底板部的供气口向所述腔室内供给气体的供气；底面整流板，配置成位于由所述支撑部支撑的基板与所述腔室的底板部之间；多个侧面整流板，在由配置于所述下降位置的所述支撑部支撑的基板与所述腔室的侧壁部之间以从所述侧壁部的内表面空开间隔地存在的方式位于所述侧壁部的内侧，且以包围由配置于所述下降位置的所述支撑部支撑的基板的周围的方式配置；以及控制部，在进行利用所述排气部的排气及利用所述供气部的供气中的至少其中一者时，对所述升降部进行控制，以使支撑所述基板的所述支撑部在所述下降位置与所述上升位置之间反复升降，所述下降位置是水平方向上在由所述支撑部支撑的基板与所述侧壁部之间存在所述多个侧面整流板的位置，所述上升位置是由所述支撑部支撑的基板位于比所述多个侧面整流板高的上方的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 减压干燥装置、减压干燥方法及计算机程序产品
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