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申请/专利权人：广东凯迪微智能装备有限公司

摘要：本发明公开了双工位VCSEL半自动测试机，包括测试机本体，测试机本体包括设备机架与防护外壳，设备机架台面上具有对VCSEL芯片进行LIV测试的LIV测试工位、对VCSEL芯片进行FF测试的FF测试工位以及对VCSEL芯片进行NF测试的NF测试工位，防护外壳将LIV测试工位、FF测试工位以及NF测试工位包裹防护在内，LIV测试工位设于设备机架台面的前侧位置，NF测试工位设于设备机架台面的尾部位置，FF测试工位设于LIV测试工位与NF测试工位之间，双工位设置，满足其中一治具平台传输机构带动治具平台依次到达LIV测试工位、FF测试工位以及NF测试工位处对产品放置槽上的VCSEL芯片进行测试，另外一治具平台传输机构上的治具平台正进行VCSEL芯片装料，从而实现装料与测试同时进行。

主权项：1.双工位VCSEL半自动测试机，其特征在于，包括测试机本体，所述测试机本体包括设备机架与防护外壳，所述设备机架台面上具有对VCSEL芯片进行LIV测试的LIV测试工位、对VCSEL芯片进行FF测试的FF测试工位以及对VCSEL芯片进行NF测试的NF测试工位，所述防护外壳将LIV测试工位、FF测试工位以及NF测试工位包裹防护在内；所述LIV测试工位设于设备机架台面的前侧位置，所述NF测试工位设于设备机架台面的尾部位置，所述FF测试工位设于LIV测试工位与NF测试工位之间；设备机架上还设有托盘以及一组治具平台传输机构，所述托盘具有多个芯片放置槽，每个芯片放置槽上均临时安放有待测试的VCSEL芯片，一组所述治具平台传输机构等间距分布设置在设备机架的台面上，且每组治具平台传输机构均安装有治具平台，同时每组治具平台传输机构沿设备机架的长度方向布置并带动治具平台依次到达LIV测试工位、FF测试工位以及NF测试工位处进行测试，所述治具平台包括治具安装底座、治具上盖、治具、对治具进行升温的升温组件以及检测治具温度的测温热电偶，所述升温组件设于治具安装底座与治具上盖之间，同时治具安装底座的侧边设有与治具上盖固定的锁扣组件，所述治具的上端面具有至少二十五个产品放置槽，每个产品放置槽上均安放有待测试的VCSEL芯片；所述设备机架台面上固定设有测试设备安装架，所述LIV测试工位上安装有积分球测试机构，所述积分球测试机构包括设于测试设备安装架侧边上的第一升降模组、积分球测试仪以及功率计，所述第一升降模组竖直设置，且积分球测试仪背部设有与第一升降模组连接的第一连接组件，同时功率计与积分球测试仪连接，第一升降模组运转带动第一连接组件上升或下降，而积分球测试仪以及功率计随着第一连接组件一同上升或下降；所述FF测试工位上安装有第一升降机构、光斑相机、第二升降机构以及透射膜，所述第一升降机构竖直设置在测试设备安装架台面上，所述光斑相机背部设有与第一升降机构连接的第二连接组件，第一升降机构运转带动第二连接组件上升或下降，而光斑相机随着第二连接组件一同上升或下降，所述第二升降机构与透射膜驱动连接，第二升降机构运转并带动透射膜上升或下降，并且透射膜低于测试设备安装架的台面，同时光斑相机设于透射膜的正上方；所述NF测试工位上安装有近场测试机构，所述近场测试机构包括设于测试设备安装架台面上的第二升降模组以及近场相机，所述第二升降模组竖直设置，所述近场相机背部设有与第二升降模组连接的第三连接组件，第二升降模组运转带动第三连接组件上升或下降，而近场相机随着第三连接组件一同上升或下降；所述治具平台传输机构包括X轴移动模组以及Y轴移动模组，所述X轴移动模组底部设有与Y轴移动模组连接的第一连接底座，所述治具平台底部设有与X轴移动模组连接的第二连接底座；所述Y轴移动模组包括第一步进电机、第一直线模组安装架、第一滚珠丝杆、第一丝杆轴承座以及第一丝杆支撑座，第一步进电机的输出轴贯穿第一直线模组安装架后通过联轴器与第一滚珠丝杆的其中一端连接，第一滚珠丝杆与第一丝杆轴承座活动连接，且第一滚珠丝杆的另一端与第一丝杆支撑座活动连接，同时第一连接底座与第一丝杆轴承座固定连接，第一直线模组安装架的内侧壁设有第一导向槽，第一连接底座的侧边设有与第一导向槽配合滑动的第一导向块；所述X轴移动模组包括第二步进电机、第二直线模组安装架、第二滚珠丝杆、第二丝杆轴承座以及第二丝杆支撑座，第二步进电机的输出轴贯穿第二直线模组安装架后通过联轴器与第二滚珠丝杆的其中一端连接，第二滚珠丝杆与第二丝杆轴承座活动连接，且第二滚珠丝杆的另一端与第二丝杆支撑座活动连接，同时第二连接底座与第二丝杆轴承座固定连接，第二直线模组安装架的内侧壁设有第二导向槽，第二连接底座的侧边设有与第二导向槽配合滑动的第二导向块。

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