龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏富乐华半导体科技股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体领域，具体是一种高可靠性氮化铝覆铝基板的制备方法。本发明通过对氮化铝陶瓷进行碱处理，加速老化处理，使其表层氢氧化铝水解转化为均匀氧化铝薄膜层。再进行氮化烧结，在氮化铝陶瓷表面形成氮氧化铝层。再将处理后的氮化铝陶瓷放置于成型模具中，经浇注烧结得到高可靠性氮化铝覆铝基板。该方法制备的高可靠性氮化铝覆铝基板具有可靠性强、热阻低、耐热性好、增强陶瓷强度、满足封装散热需求的优点。
主权项：1.一种高可靠性氮化铝覆铝基板的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：将氮化铝陶瓷3放置于浓度为1-3gL的氢氧化钠溶液中，超声清洗后取出后放置于98-100％湿度下、120-140℃老化96-120h，反应结束后经纯水水洗、烘干，得到预处理氮化铝陶瓷；步骤二：在氮气环境下，将预处理氮化铝陶瓷进行氮化烧结，烧结结束后随炉冷却，在表面形成氮氧化铝层2；氮化烧结工艺参数：温度为1500-1800℃，时间为60-120min，气体压力为1-5MPa；步骤三：将步骤二处理后的氮化铝陶瓷放置于成型模具中，在模具浇注口上端放置高纯铝块，装夹完成后660-950℃浇注烧结60-120min，烧结结束后随炉冷却，在表面形成金属铝层1，再经脱模、切割研磨、修板，制备得到高可靠性氮化铝覆铝基板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 一种高可靠性氮化铝覆铝基板的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号