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III族元素氮化物基板及III族元素氮化物基板的制造方法 

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申请/专利权人:日本碍子株式会社

摘要:本发明提供翘曲的发生得以抑制的III族元素氮化物基板。本发明的实施方式所涉及的III族元素氮化物基板为具有相互对置的第一主面及第二主面的III族元素氮化物基板,其中,在所述第一主面,位于中央部的第一部位的结晶性比位于比所述第一部位靠外侧的位置的第二部位的结晶性高。所述第二部位处的利用X射线衍射摇摆曲线测定得到的10-12面的衍射峰的半值宽度W2可以比所述第一部位处的利用X射线衍射摇摆曲线测定得到的10-12面的衍射峰的半值宽度W1宽。

主权项:1.一种III族元素氮化物基板,其具有相互对置的第一主面及第二主面,所述III族元素氮化物基板的特征在于,在所述第一主面,位于中央部的第一部位的结晶性比位于比所述第一部位靠外侧的位置的第二部位的结晶性高。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 日本碍子株式会社 III族元素氮化物基板及III族元素氮化物基板的制造方法

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