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一种电子级G2过氧化氢提纯工艺设备 

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申请/专利权人:宜兴市东晓环保科技有限公司

摘要:本发明涉及过氧化氢提纯技术领域,具体是指一种电子级G2过氧化氢提纯工艺设备。包括原料储存罐区、原液槽、一级输送泵、一级冷却器、一级过滤器、一级高压泵、一级RO膜组、一级纯化液槽、二级输送泵、二级冷却器、二级过滤器、二级高压泵、二级RO膜组、二级纯化液槽、纯化液输送泵、G2储存罐区。本发明的有益效果是:随着电子工业的高速发展,电子级过氧化氢也得到高速发展,同时随着集成电路的尺寸微小化和处理向高速度方向发展,也对其质量提出了苛刻的要求,是电子工业中一种十分重要的工艺化学品,通过本工艺流程设备对过氧化氢进行提纯处理,使过氧化氢纯度更高,达到电子级G2,本工艺流程发明使系统实现节能环保,无污染物产生。

主权项:1.一种电子级G2过氧化氢提纯工艺设备,其特征在于,包括原料储存罐区、原液槽、一级输送泵、一级冷却器、一级过滤器、一级高压泵、一级RO膜组、一级纯化液槽、二级输送泵、二级冷却器、二级过滤器、二级高压泵、二级RO膜组、二级纯化液槽、纯化液输送泵、G2储存罐区、浓缩液槽、浓缩液输送泵、浓缩液储存罐区,所述原液槽与所述原料储存罐区连通,所述一级输送泵与原液槽连通,所述一级冷却器与一级输送泵连通,所述一级过滤器与一级冷却器连通,所述一级高压泵与一级过滤器连通,所述一级RO膜组与一级高压泵连通,所述一级纯化液槽与一级RO膜组连通,所述二级输送泵与一级纯化液槽连通,所述二级冷却器与二级输送泵连通,所述二级过滤器与二级冷却器连通,所述二级高压泵与二级过滤器连通,所述二级RO膜组与二级高压泵连通,所述二级纯化液槽与二级RO膜组连通,所述纯化液输送泵与二级纯化液槽连通,所述G2储存罐区与纯化液输送泵连通。

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