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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本申请公开了一种工艺路径的处理方法、装置及半导体工艺设备。其中，该方法包括：获取待执行的工艺任务的工艺路径的标识；根据工艺路径的标识，获取对应的工艺路径的信息，工艺路径的信息包括顺序排列的多个工艺步骤的信息和每个工艺步骤对应的至少一个工艺腔室的信息；采用图形显示控件，根据工艺路径的信息对工艺路径进行图形化显示，得到工艺路径控件，工艺路径控件中包括顺序连接的多个工艺步骤节点控件和每个工艺步骤节点控件对应的至少一个工艺腔室节点控件，工艺腔室节点控件的属性信息中包括对应的工艺参数的标识。本申请实现了直观的向用户展示物料的工艺路径，在保证工艺流程正常执行的同时，实现了工艺参数的保密。
主权项：1.一种工艺路径的处理方法，其特征在于，包括：获取待执行的工艺任务的工艺路径的标识；根据所述工艺路径的标识，获取对应的工艺路径的信息，所述工艺路径的信息包括顺序排列的多个工艺步骤的信息和每个所述工艺步骤对应的至少一个工艺腔室的信息；采用图形显示控件，根据所述工艺路径的信息对所述工艺路径进行图形化显示，得到工艺路径控件，所述工艺路径控件中包括顺序连接的多个工艺步骤节点控件和每个所述工艺步骤节点控件对应的至少一个工艺腔室节点控件，所述工艺腔室节点控件的属性信息中包括对应的工艺参数的标识。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 工艺路径的处理方法、装置及半导体工艺设备
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