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申请/专利权人：中国计量大学
摘要：本发明专利涉及一种PVDF压电薄膜表面电极及其电路的制备方法，包括磁控溅射‑光刻显影‑电镀‑刻蚀等步骤，其制备方法简单容错率高，制备的电极及其导线可以实现微型化电极小于1mm，导线线宽可小于50um，采用该方法可以在商业PVDF压电薄膜两个延展表面制备微型电极及其导线从而使其构成微型压电传感器件。
主权项：1.一种PVDF压电薄膜表面电极及其电路制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤1，以一种玻璃板为衬底，进行表面改善；步骤2，在玻璃衬底上平整粘贴导热硅胶片作为释放层；步骤3，在硅胶片上平整粘贴压电薄膜作为柔性压电传感器的敏感材料；步骤4，在薄膜上方磁控溅射Ti-Cu金属层，磁控溅射前进行表面改善；步骤5，在Ti-Cu金属层上方旋涂并烘烤光刻胶；步骤6，将旋涂好光刻胶的板层放入光刻机中曝光；步骤7，曝光完成后采用显影液显影；步骤8，粘贴导电铜胶带至电镀电极区；步骤9，将粘好导电胶带的板层放入电镀池中电镀；步骤11，电镀完成后将板层表面剩余的光刻胶去除；步骤12，采用湿法刻蚀形成电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国计量大学 一种PVDF压电薄膜表面电极及其电路制备方法
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