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申请/专利权人：氢合科技(广州)有限公司
摘要：本发明提供一种低温泵再生方法，在再生过程中对通入氮气的时机进行了优化，通过在初始阶段和一级冷头与二级冷头温度升高到270K时通入氮气，提高了氮气的利用率；同时改善了相关流程，通过改变升温时机、进行二次吹扫和二次抽吸，有效缩短了再生需要的时间，同时降低低温泵再生过程中消耗的氮气，并且不会牺牲再生效果。
主权项：1.一种低温泵再生方法，包括如下步骤：S1：再生开始；S2：关闭被抽腔体与低温泵之间的主阀，停止低温泵运行；S3：打开吹扫阀，向低温泵腔体内部吹入氮气进行吹扫，同时对低温泵的一级冷头和二级冷头进行加热以进行吹扫升温；此时，当低温泵腔体内部的压强大于大气压时，低温泵上的安全阀打开，氮气从安全阀排出；S4：当一级冷头和二级冷头温度加热到240K时，关闭吹扫阀，停止通入氮气，一级冷头和二级冷头则继续加热以进行静态升温；S5：当一级冷头和二级冷头温度加热到270K时，再次打开吹扫阀，开始通入氮气，吹出低温泵腔体内部的水汽以实现水汽吹扫；S6：当一级冷头和二级冷头温度加热到290K时，关闭吹扫阀，停止通入氮气，然后打开粗抽阀对低温泵进行抽吸，同时一级冷头和二级冷头继续加热直至一级冷头和二级冷头温度达到310K以进行抽吸升温；S7：当一级冷头和二级冷头温度达到310K，且低温泵腔体内部压力低于100Pa时，关闭粗抽阀停止抽吸，再次向低温泵腔体内部通入氮气，进行二次吹扫；S8：二次吹扫过程中，安全阀打开，当安全阀打开十分钟之后，停止通入氮气，然后通过粗抽阀对低温泵进行抽空，直至低温泵腔体内部压力低于10Pa；S9：关闭所有阀门，检测低温泵腔体内部压力变化以进行保压测试并判断是否通过保压测试；S10：如果通过保压测试，则停止对一级冷头和二级冷头的加热并开始降温；当二级冷头温度低于20K时，再生完成，低温泵进入正常运行；S11：如果未通过保压测试，则返回步骤S3，继续执行步骤S3-S9，直至通过保压测试。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 氢合科技(广州)有限公司 一种低温泵再生方法
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