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申请/专利权人：联合微电子中心有限责任公司
摘要：本发明提供一种纳米压印方法，包括将工作模具和形成有压印胶层的基板置于密封腔室中，向密封腔室中引入工作气体以置换环境气体，所引入的工作气体相对于原有的环境气体在压印胶层中具有更大的溶解度；随后，使工作模具以其微纳结构与压印胶层贴合的状态下，向工作模具和基板中的至少一者施加压力，致使压印胶层发生形变而填充微纳结构之间的孔隙，将微纳结构转印到压印胶层中。本发明利用置换气氛组成的方式，使压印胶层压入工作模具中所捕获的气体能够在工作模具的孔隙填充过程中被溶解，极大程度地减小产生气泡的概率，抑制气泡所引起的图形缺失，提高了图形加工精度，提升产品良率，不会明显增加压印过程的成本和时间。
主权项：1.一种纳米压印方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一基板，于所述基板上形成压印胶层，所述压印胶层包括光致抗蚀剂层；将工作模具和形成有压印胶层的所述基板置于密封腔室中，所述工作模具包括具有微纳结构的图案转移层，向所述密封腔室中引入工作气体以置换原有的环境气体，所引入的工作气体在所述压印胶层中的溶解度大于所述环境气体在所述压印胶层和所述工作模具中的溶解度；使所述工作模具以其微纳结构与所述压印胶层贴合的状态下，向所述工作模具和所述基板中的至少一者施加压力，致使所述压印胶层发生形变而填充所述微纳结构之间的孔隙，将所述图案转移层中的微纳结构转印到所述压印胶层中；维持含有工作气体的气氛条件下，使转印后的压印胶层固化，形成与所述微纳结构互补的移印图案；使所述工作模具从所述移印图案脱模。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 联合微电子中心有限责任公司 纳米压印方法及纳米压印模具
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