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申请/专利权人：南亚科技股份有限公司
摘要：本公开提供一种电路结构，包括一第一金属线、一第二金属线以及一中间结构。该第二金属线设置在该第一金属线上。该中间结构插置在该第一金属线与该第二金属线之间，且经配置以减少在该第一金属线与该第二金属线之间的一寄生电容。该中间结构包括三种不同材料。该中间结构界定至少一空的空间。该中间结构包括一遮罩层以及多个支撑部。该多个支撑部的一材料不同于该遮罩层的一材料。
主权项：1.一种电路结构，包括：一第一金属线；一第二金属线，设置在该第一金属线上；以及一中间结构，插置在该第一金属线与该第二金属线之间，且经配置以减少在该第一金属线与该第二金属线之间的一寄生电容，其中该中间结构包括三种不同材料，其中该中间结构界定至少一空的空间，其中该中间结构包括一遮罩层以及多个支撑部，其中该多个支撑部的一材料不同于该遮罩层的一材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南亚科技股份有限公司 包括至少一气隙的电路结构及其制备方法
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