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申请/专利权人：安徽奥飞声学科技有限公司
摘要：本发明涉及电子核心产业中敏感元件及传感器制造，尤其涉及一种MEMS压电器件及其制备方法，气压传感器、电子烟。本发明MEMS压电器件包括：衬底；振动支撑层，形成于衬底外环体上方，并覆盖衬底背腔；下电极层，形成于振动支撑层上，分为：中心下电极层、外围下电极层；压电层，形成于下电极层上方；上电极层，形成于压电层上方，分为：中心上电极层、外围上电极层，两者分别与中心下电极层和外围下电极层相对应；其中，中心下电极层电性连接至外围上电极层；中心上电极层电性连接至外围下电极层。本发明通过将中心上电极层与外围下电极层导通，中心下电极层与外围上电极层导通，以消除MEMS压电器件热释电效应产生的电荷。
主权项：1.一种MEMS压电器件，其特征在于，包括：衬底，包括：衬底外环体；衬底背腔，形成于衬底外环体内；振动支撑层，形成于所述衬底外环体上方，并覆盖所述衬底背腔；下电极层，形成于所述振动支撑层上，其在水平方向上分为：相互隔离的中心下电极层、外围下电极层；压电层，形成于所述下电极层上方；上电极层，形成于所述压电层上方，其在水平方向上分为：相互隔离的中心上电极层、外围上电极层，两者分别与所述中心下电极层和外围下电极层相对应；其中，所述中心下电极层电性连接至外围上电极层；所述中心上电极层电性连接至外围下电极层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽奥飞声学科技有限公司 MEMS压电器件及其制备方法，气压传感器、电子烟
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