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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
摘要：本发明公开了一种被测单元测试方法及被测单元测试系统。本发明的被测单元测试方法通过获取被测单元的图像，根据图像将被测单元划分为中心区域和外围区域，被测单元的圆心与中心区域的外接圆的圆心重合。对所有处于外围区域内的矩形晶粒进行测试，对中心区域内的一部分晶粒进行测试，中心区域内被测试的晶粒的数量为N1，中心区域内的晶粒的总数为N2，1％≤N1N2≤10％。被测单元的外围区域内的晶粒的良品率相较中心区域的晶粒的良品率低，将被测单元划分成中心和外围两个区域然后对良品率低的外围区域的矩形晶粒全部测试，对良品率高的中心区域的晶粒进行部分抽取测试，这样就不用测试全部晶粒，减少了测试的晶粒数量，提高了测试效率。
主权项：1.被测单元测试方法，其特征在于，包括以下步骤：获取被测单元的图像，根据所述图像将被测单元划分为中心区域和外围区域，并且所述被测单元的圆心与所述中心区域的外接圆的圆心重合，所述被测单元的外径为D1，所述外接圆的外径为D2，0＜D1-D2D2＜0.02；对所有处于所述外围区域内的矩形晶粒进行测试，对所述中心区域内的一部分所述晶粒进行测试，所述中心区域内被测试的所述晶粒的数量为N1，所述中心区域内的所述晶粒的总数为N2，1％≤N1N2≤10％。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 一种被测单元测试方法及被测单元测试系统
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