龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳市新凯来工业机器有限公司
摘要：本申请提供一种具有磁性组件的半导体设备，属于半导体工艺技术领域，该半导体设备包括腔室、准直器以及磁性组件。准直器位于腔室中，磁性组件呈环状位于腔室的外周侧。磁性组件包括第一电磁线圈、第二电磁线圈以及第三电磁线圈，第一电磁线圈位于腔室的外周侧的上部，第二电磁线圈位于腔室的外周侧的中段，第三电磁线圈位于腔室的外周侧的底部。通过调节磁性组件中的三组电磁线圈，三组电磁线圈共同作用能够调节整个腔室内的磁场及金属离子，通过事先调整好电磁线圈的匝数以及电流从而确定合适的匝数与电流的大小，以限制金属离子的分布，提升等离子体的导向能力，改善台阶覆盖率，提升产品良率。更精细地控制磁场线分布，提高对工艺的调控能力。
主权项：1.一种半导体设备，其特征在于，包括：腔室；准直器，所述准直器位于所述腔室中；磁性组件，所述磁性组件呈环状位于所述腔室的外周侧；所述磁性组件包括第一电磁线圈、第二电磁线圈以及第三电磁线圈；所述第一电磁线圈位于所述腔室的外周侧的上部；所述第二电磁线圈位于所述腔室的外周侧的中段；所述第三电磁线圈位于所述腔室的外周侧的底部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市新凯来工业机器有限公司 具有磁性组件的半导体设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号