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申请/专利权人：深圳市信维通信股份有限公司
摘要：本申请实施例涉及天线刻蚀技术领域，尤其是涉及一种铜蚀刻液、铜蚀刻液的制备方法及其应用。铜蚀刻液的原料组成包括：1份～20份的磷酸、1份～10份的柠檬酸和0份～10份的过氧化氢；其中，磷酸是无机酸，酸性较强；柠檬酸是有机酸，酸性相对较弱。本申请实施例通过磷酸和柠檬酸合适的质量配比可使得铜蚀刻液的刻蚀速率可控。过氧化氢主要用于将铜层的表面氧化，然后由磷酸和柠檬酸对铜层进行腐蚀。本申请实施例通过设置磷酸和柠檬酸与过氧化氢合适的比例可以进一步将铜蚀刻液的刻蚀时间控制在合适的范围内。因此，本申请实施例通过控制蚀刻液的成分和刻蚀速率，可以提高铜蚀刻液对铜层的刻蚀精度，使铜蚀刻液能在铜层上刻蚀出复杂的图案和微结构。
主权项：1.一种铜蚀刻液，其特征在于，按照重量份数计，所述铜蚀刻液的原料组成包括：
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百度查询： 深圳市信维通信股份有限公司 铜蚀刻液、铜蚀刻液的制备方法及其应用
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