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一种拉晶装置及拉晶方法 

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申请/专利权人:双良晶硅新材料(包头)有限公司

摘要:本申请实施例提供了一种拉晶装置及拉晶方法,拉晶装置包括单晶炉、坩埚以及导流筒,坩埚设置于单晶炉内,用于盛放硅液,导流筒设置于坩埚的上方;其中,导流筒包括内筒和间隔连接于内筒的外筒,外筒设有贯通的腔体,在硅液与坩埚产生杂质气体的情况下,腔体将杂质气体传输至单晶炉外,以降低晶棒的含氧量。在拉晶过程中,当坩埚内的硅液与坩埚发生反应,也即坩埚中的二氧化硅溶解于硅液产生氧化硅,引入含氧的杂质气体时,杂质气体沿导流筒的外筒中的腔体传输至单晶炉外,从而大大降低了拉晶过程中的氧含量,提高了拉晶工艺制得的晶棒的性能,避免晶棒含氧量较高而导致的晶棒电阻参数异常,避免对后续通过晶棒制得的光伏组件的发电效率的影响。

主权项:1.一种拉晶装置,其特征在于,所述拉晶装置包括单晶炉、坩埚以及导流筒,所述坩埚设置于所述单晶炉内,用于盛放硅液,所述导流筒设置于所述坩埚的上方;其中,所述导流筒包括内筒和间隔连接于所述内筒的外筒,所述外筒设有贯通的腔体,在硅液与所述坩埚产生杂质气体的情况下,所述腔体将所述杂质气体传输至所述单晶炉外,以降低晶棒的含氧量。

全文数据:

权利要求:

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