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申请/专利权人：东莞市鼎力自动化科技有限公司
摘要：本发明公开了一种碳化硅晶体生长设备，本发明涉及碳化硅晶体制备技术领域，包括机架，所述机架的顶部固定安装有碳化硅晶体生长炉，所述碳化硅晶体生长炉的表面铰接有炉门，所述碳化硅晶体生长炉的顶部安装有提拉器。该碳化硅晶体生长设备，通过生长坩埚盛放碳化硅粉料和籽晶，并利用提拉器使生长坩埚落入电加热器中，对生长坩埚进行加热，再配合旋转器的驱动，带动生长坩埚转动，并配合热效应和空气的流动效果，加速碳化硅粉料升华形成气相组分并在籽晶上凝结，共同形成晶块，且通过加快碳化硅晶体的生长制备，从而避免碳化硅粉料在籽晶表面形成碳包裹，造成多晶核的情况，进而提高碳化硅晶体的制备品质和效率。
主权项：1.一种碳化硅晶体生长设备，其特征在于，包括机架1，所述机架1的顶部固定安装有碳化硅晶体生长炉2，所述碳化硅晶体生长炉2的表面铰接有炉门，所述碳化硅晶体生长炉2的顶部安装有提拉器3，所述提拉器3的一侧安装有旋转器4，所述旋转器4的输出端延伸至碳化硅晶体生长炉2内部，且与碳化硅晶体生长炉2的顶部内壁相适配，所述碳化硅晶体生长炉2的内部设置有电加热器6，所述电加热器6位于旋转器4的下方，且所述电加热器6的顶部安装有坩埚取出板7，所述坩埚取出板7的顶部放置有生长坩埚5；其中，所述生长坩埚5包括坩埚锅体51，所述坩埚锅体51的底面与坩埚取出板7顶部相接触，且所述坩埚锅体51呈锥筒状，所述坩埚锅体51的外缘表面与旋转器4的输出端相连接，所述坩埚锅体51的顶部可拆卸式安装有坩埚盖52，所述坩埚锅体51的外缘表面上开设有气体流通槽56，所述坩埚锅体51的内腔中容置有碳化硅粉料，所述碳化硅粉料用于受热后升华形成气相组分，所述坩埚锅体51的内缘表面可拆卸式安装有承载架53，所述承载架53的底面安装有导流板55，所述承载架53的内缘表面安装有籽晶托架54，所述籽晶托架54的轴心位置容置盛托有籽晶。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市鼎力自动化科技有限公司 一种碳化硅晶体生长设备
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