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申请/专利权人：赛拉米克(杭州)科技有限公司

摘要：本发明公开了一种半导体空气净化装置，涉及半导体技术领域，包括安装于隔离框外侧的两个净化筒，还包括固定连通在净化筒底部的U型管，且U型管内安插有对接管，顶部固定连通有出气管，出气管的顶部固定连通有排气管；换气机构，换气机构的出气处与对接管连接，且换气机构的进气处连通有吸气管，吸气管与隔离管一侧壁固定连通；安装于隔离框内的吹气机构，吹气机构将净化后的气体吹向半导体芯片处，本发明内设计的换气机构能够对隔离框内的气体抽出，并通过进化筒内的进化液对气体进行净化操作，之后再配合吹气机构，能够将净化的气体针对性地吹向半导体芯片外侧，优先将半导体附近气体进行更换，使其周围减少含灰尘气体。

主权项：1.一种半导体空气净化装置，包括：安装于隔离框外侧的两个净化筒1；其特征在于，还包括：固定连通在净化筒1底部的U型管2，且所述U型管2内安插有对接管3，顶部固定连通有出气管4，所述出气管4的顶部固定连通有排气管5；换气机构6，所述换气机构6的出气处与对接管3连接，且所述换气机构6的进气处连通有吸气管7，所述吸气管7与隔离管一侧壁固定连通；安装于隔离框内的吹气机构8，所述吹气机构8将净化后的气体吹向半导体芯片处，且所述排气管5与所述吹气机构8对接；所述换气机构6包括两个换气筒9和支撑架10，所述换气筒9内通过转轴转动安装有往复丝杆11，且所述换气筒9外侧通过支架与支撑架10固定，所述往复丝杆11的底端通过轴承与支撑架10转动对接，且所述往复丝杆11的底部外侧固定有齿轮12，两个所述齿轮12外侧啮合套有齿形带13，所述支撑架10底部通过电机架固定有驱动电机14，且所述驱动电机14输出端通过联轴器与其中一个往复丝杆11底部固定，所述往复丝杆11的外侧螺纹套接有活塞套15，且所述活塞套15内滑动插接有限位杆16，所述限位杆16两端分别与换气筒9顶部内壁和支撑架10固定，所述换气筒9的顶部固定连通有两个排气阀17，两个所述排气阀17朝向相反，且分别与对接管3和吸气管7连通；所述吹气机构8包括固定在隔离框内的安装板24，所述安装板24内固定有圆柱形的气囊袋25，且所述安装板24的顶部和底部均固定有轨道杆26，两个所述轨道杆26的两端均通过固定架与隔离框内壁固定，且两个所述轨道杆26的两端均滑动套接有推送盖27，所述轨道杆26的外侧套有与所述推送盖27和所述安装板24相固定的拉簧28，且所述推送盖27与气囊袋25外端相抵，所述安装板24的两端固定有用于气囊袋25进气和出气的通管，用于进气的通管贯穿隔离框伸到外侧，并固定有三通管29，所述三通管29与两个排气管5对接，另一个通管的外侧固定有朝半导体芯片吹气的吹气组件30；所述吹气组件30包括与通管相固定的长管31，所述长管31的外侧固定有轨道板32，且所述轨道板32内壁开设有多个与所述长管31相连通的排气孔33，所述轨道板32的两端均滑动插接有遮挡板34，且所述遮挡板34上对应多个排气孔33位置处开有通气孔35，所述长管31上安装有用于调节遮挡板34位置的调节件36；所述调节件36包括固定在长管31两端的两个连接板37，所述轨道板32的中间位置处和两个连接板37的外端均固定有磁吸块38，且所述遮挡板34的两端均固定有与所述磁吸块38相吸引的铁块39，所述推送盖27的外侧固定有调节板40，且靠近连接板37一端的铁块39和遮挡板34的外侧固定有与所述调节板40相抵的对接板41。

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