买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：宁波云德半导体材料有限公司

摘要：本发明提供了一种石英环及其制备方法，制备方法包括：S100、制备石英玻璃：载料气体携带硅原料通过电感耦合等离子体火焰中点燃生成SiO2颗粒，SiO2颗粒沉积生长成石英玻璃；S200、制备CNTs‑石英复合材料：制备CNTs‑石英混合粉体，将混合粉体在惰性气体气氛中进行烧结处理，得到CNTs‑石英复合材料；S300、制备石英环：将CNTs‑石英复合材料切割打磨成环状，进行抛光处理得到石英环。通过气相沉积法制备石英玻璃，可以得到纯度更高的石英玻璃，并且在石英中添加少量的改性CNTs，可以使石英的硬度等性能有所改善，进而使产品性能更好。

主权项：1.一种石英环的制备方法，其特征在于，包括：S100、制备石英玻璃：载料气体携带硅原料通过电感耦合等离子体火焰中点燃生成SiO2颗粒，所述SiO2颗粒沉积生长成所述石英玻璃；S200、制备CNTs-石英复合材料：制备CNTs-石英混合粉体，将所述CNTs-石英混合粉体在惰性气体气氛中进行烧结处理，得到所述CNTs-石英复合材料；S300、制备所述石英环：将所述CNTs-石英复合材料切割打磨成环状，进行抛光处理得到所述石英环；其中，所述制备CNTs-石英混合粉体包括：S210、将所述石英玻璃磨成石英粉末；S220、将改性CNTs和所述石英粉末分别加入乙醇中混合均匀，得到第一混合液和第二混合液；S230、将所述第二混合液加入所述第一混合液中，进行加热处理后进行抽滤处理得到固形物，洗涤所述固形物得到所述CNTs-石英混合粉体；在将改性CNTs和所述石英粉末分别加入乙醇中混合均匀之前，所述制备方法还包括预处理；所述预处理为将所述改性CNTs在硫酸与硝酸混合溶液中进行浸泡处理后，依次进行洗涤处理和烘干处理；所述S220中，所述改性CNTs和所述石英粉末的摩尔比为1：（0.05-0.15）；所述改性CNTs的制备方法包括以下步骤：S221、将催化剂置于反应器中，并通入惰性气体，升温至700℃-1000℃，通入丙烯气体30min-90min，冷却至室温，得到CNTs；S222、将所述CNTs、稀土化合物溶液和尿素混合均匀后依次进行分散处理、烘干处理，得到所述改性CNTs；在所述S210与所述S220之间，所述制备方法还包括热处理；所述热处理包括：S211、将所述石英粉末加热至1250℃-1350℃，保温1.5h-4.5h；S212、将所述石英粉末降温至750℃-900℃，然后将所述石英粉末升温至1300℃-1450℃，保温2.5h-4.5h；S213、重复20次-40次所述S212；在所述S300中，所述抛光处理采用抛光蜡进行抛光处理；所述抛光蜡包括：20wt.%-25wt.%不饱和脂肪酸，18wt.%-22wt.%烷醇；8wt.%-12wt.%鲸蜡；6wt.%-9wt.%蜂蜡；5wt.%-7wt.%羊毛蜡；6wt.%-9wt.%棕榈蜡；7wt.%-9wt.%木蜡；4wt.%-8wt.%硬脂酸；3wt.%-6wt.%甘油；2wt.%-5wt.%松香；1.5wt.%-2.5wt.%石英砂；2wt.%-3.5wt.%三氧二化铁；1wt.%-2wt.%氧化铝；1wt.%-2wt.%金刚砂；在所述将所述CNTs-石英复合材料切割打磨成环状之前，所述制备方法还包括：将所述CNTs-石英复合材料置于处理液中浸泡1h-3h；所述处理液为氧化铝、氧化钠、氧化镁、碳酸钠和次氯酸钠的混合溶液；所述处理液的pH为8-9；在所述将所述CNTs-石英复合材料切割打磨成环状之后，所述制备方法还包括：对环状的所述CNTs-石英复合材料依次进行表面处理、水淬处理；进行所述表面处理为将环状的所述CNTs-石英复合材料置于8wt.%-12wt.%的氢氟酸溶液中浸泡0.5h-1h；进行所述水淬处理为将环状的所述CNTs-石英复合材料加热至750℃-1100℃，保温处理0.5h-1h，保温结束后取出并立刻放入纯水中进行水淬。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波云德半导体材料有限公司 一种石英环及其制备方法