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一种芯片加工用蚀刻装置 

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申请/专利权人:合肥恒磊电子科技有限公司

摘要:本实用新型属于芯片加工设备技术领域,尤其是一种芯片加工用蚀刻装置,包括功能箱,所述功能箱底部内壁固定安装有安装箱,安装箱与功能箱之间设置有升降机构,安装箱顶部固定安装有蚀刻池,蚀刻池内设置有置放机构;蚀刻池左侧内壁固定安装有防护罩,防护罩左侧内壁固定安装有第一电机,第一电机输出轴与蚀刻池右侧内壁转动连接。本实用新型设计合理,通过设置有升降机构与置放机构,能够实现便于对芯片进行取放,能够实现避免蚀刻液溅出对工作人员造成伤害,能够实现提高芯片蚀刻效率的目的,通过设置有搅拌机构,能够实现蚀刻液与芯片充分接触,从而能够实现加快蚀刻液对芯片进行蚀刻加工的目的。

主权项:1.一种芯片加工用蚀刻装置,其特征在于,包括功能箱1,所述功能箱1底部内壁固定安装有安装箱2,所述安装箱2与功能箱1之间设置有升降机构,所述安装箱2顶部固定安装有蚀刻池3,所述蚀刻池3内设置有置放机构;所述蚀刻池3左侧内壁固定安装有防护罩9,所述防护罩9左侧内壁固定安装有第一电机10,所述第一电机10输出轴与蚀刻池3右侧内壁转动连接,所述第一电机10输出轴上设置有搅拌机构,所述功能箱1顶部开设有通口19。

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