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一种铬铂合金靶材的制作方法、装置、设备及其存储介质 

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申请/专利权人:新加坡先进薄膜材料私人有限公司

摘要:本申请公开一种铬铂合金靶材的制作方法、装置、设备及其存储介质,通过获取符合预设要求的铂粉、铬粉并获取铂粉的真实密度、颗粒尺寸分布和颗粒比表面积以及铬粉的真实密度、颗粒尺寸分布和颗粒比表面积;基于铂粉的真实密度、颗粒尺寸分布和颗粒比表面积以及铬粉的真实密度、颗粒尺寸分布和颗粒比表面积,将铂粉和铬粉进行质量配比,得到第一原料;对第一原料进行混粉搅拌,得到第二原料;对第二原料进行真空热压预成型,得到第一靶材;对第一靶材进行涂铟绑定,得到第二靶材;对第二靶材进行加工,得到成品靶材。该方法得到的成品靶材具有良好的磁性和热稳定性,有利于成品靶材的后期应用。

主权项:1.一种铬铂合金靶材的制作方法,其特征在于,包括:获取符合预设要求的铂粉、铬粉;获取所述铂粉的真实密度、颗粒尺寸分布和颗粒比表面积以及所述铬粉的真实密度、颗粒尺寸分布和颗粒比表面积;基于所述铂粉的真实密度、颗粒尺寸分布和颗粒比表面积以及铬粉的真实密度、颗粒尺寸分布和颗粒比表面积,将所述铂粉和铬粉进行质量配比,得到第一原料;其中,所述铂粉和铬粉的质量配比为81:19;对所述第一原料进行混粉搅拌,得到第二原料;对所述第二原料进行真空热压预成型,得到第一靶材;其中,将所述第二原料装填入表面包覆石墨纸的模具中,得到第一模具,并装入真空热压机中,利用所述真空热压机对所述第一模具施加压力至75吨,以得到第一靶材;对所述第一靶材进行涂铟绑定,得到第二靶材;具体包括:加热已获取的铟绑定热台至预设温度,利用所述加热至预设温度的铟绑定热台对预先获取的背板和所述第一靶材进行加热,并分别将预先制备的保护胶涂覆在所述背板的非绑定面和所述第一靶材的非绑定面;分别将预先制备的铟层涂覆在所述铟绑定热台的背板的绑定面以及所述第一靶材的绑定面,得到第一背板和加工靶材;将加工靶材涂覆有铟层的一面覆盖在第一背板涂覆有铟层的一面,以完成涂铟绑定,得到绑定靶材;对所述绑定靶材进行第二操作,得到第二靶材;对所述第二靶材进行加工,得到成品靶材。

全文数据:

权利要求:

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