买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：黄剑鸣

摘要：本实用新型公开一种晶硅薄膜板生产系统，其包括承PECVD设备、传输设备、三维移动装置及激光晶化装置；PECVD设备用于提供非硅薄膜板；激光晶化装置用于对非硅薄膜板上的非晶硅薄膜进行加热晶化而形成硅薄膜板；传输设备用于提供整个生产系统中非硅薄膜板的输送以及硅薄膜板的输送；三维移动装置用于提供激光晶化装置的激光聚焦调节，及激光对非晶硅薄膜板的扫描式加热，从而实现非硅薄膜板大比例的晶化处理成硅薄膜板板。本实用新型对成本低、工艺简单的非晶硅薄膜进行扫描式加热晶化处理，以使得最终大比例的形成晶硅薄膜，成本低和工艺简单。

主权项：1.一种晶硅薄膜板生产系统，用于在玻璃基板上形成晶硅薄膜，其特征在于，包括：用于在玻璃基板上沉积非晶硅薄膜的PECVD设备，所述非晶硅薄膜与所述玻璃基板组成非晶硅薄膜板；用于承载并传输玻璃基板的传输设备，所述传输设备具有贯穿整个晶硅薄膜板生产系统的传输带，所述传输带的传输方向为X轴方向；三维移动装置，所述三维移动装置包括基座、X轴驱动件、龙门架、吊装架、Y轴驱动件及Z轴驱动件，所述基座开设有供所述传输带穿过的传输通道，所述传输通道的长度方向与X轴方向一致；所述X轴驱动件呈对称的设置于所述基座上并位于所述传输通道的两侧，所述龙门架的两端呈沿X轴方向滑动的设置于所述基座上，所述X轴驱动件对应与所述龙门架的两端连接，所述X轴驱动件可驱动所述龙门架沿X轴方向进行往复移动；所述龙门架具有沿Y轴方向呈水平设置的桁架，所述Y轴驱动件设置于所述桁架上，所述吊装架呈沿Z轴方向滑动的设置于所述桁架上，所述Y轴驱动件可驱动所述吊装架沿Y轴方向进行往复移动；所述吊装架具有沿Z轴方向设置的吊装部，所述吊装架呈沿Z轴方向滑动的设于所述Z轴驱动件上，所述Z轴驱动件可驱动所述吊装部沿Z轴方向进行往复移动，所述吊装部位于所述传输通道的正上方；X轴方向、Y轴方向及Z轴方向两两相互垂直；用于对非晶硅薄膜进行加热晶化的激光晶化装置，所述激光晶化装置设置于所述吊装部上并位于所述传输通道的正上方，所述激光晶化装置包括波形输出器及激光发射器、反射镜及凸透镜，所述波形输出器与所述激光发射器电性连接用于控制激光发射器输出两段式高低功率形式的脉冲式激光；高功率激光用于将非晶硅薄膜表面进行快速加热至晶化温度，高功率激光的功率为Wmax，持续时间t1；低功率激光的功率为Wmin，持续时间t2，Wmax＞Wmin；所述激光晶化装置的出光口正对所述传输通道；所述激光发射器所发出的激光经所述反射镜的反射垂直入射至凸透镜，入射至凸透镜的激光聚焦至传输通道上的传输带上的非晶硅薄膜板表面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 黄剑鸣 晶硅薄膜板生产系统