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申请/专利权人:奥恒科技股份有限公司
摘要:本实用新型提供一种抽气结构及基板处理装置,所述抽气结构包括顶部件、底部件及分隔件。底部件相对于顶部件设置,并在底部具有一个抽气孔。分隔件设置在所述顶部件与所述底部件之间,并具有2n个气体通孔。本实用新型所提供的抽气结构及包含其的基板处理装置能使抽气路径一致化,进而使基板上的薄膜沉积均匀化。
主权项:1.一种抽气结构,其特征在于,所述抽气结构包括:顶部件;底部件,所述底部件相对于所述顶部件设置,并在底部具有一个抽气孔;以及分隔件,所述分隔件设置在所述顶部件与所述底部件之间,并具有2n个气体通孔,其中,n为大于零的整数。
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百度查询: 奥恒科技股份有限公司 抽气结构及基板处理装置
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