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申请/专利权人：浙江创芯集成电路有限公司
摘要：本发明实施例提供了一种半导体系统及校准方法，其中，所述半导体系统包括：机械臂，所述机械臂具有与所述机械臂夹持的晶圆同轴设置的第一校准孔；与所述机械臂相对设置的载台；与所述载台同轴设置的中心结构；校准所述第一校准孔与所述中心结构的同轴度，确定所述机械臂的目标位置的第一校准件，所述机械臂的目标位置为：所述晶圆与所述载台同心对准时，所述机械臂所处的位置。采用上述技术方案，能够确定机械臂的目标位置。
主权项：1.一种半导体系统，其特征在于，包括：机械臂，所述机械臂具有与所述机械臂夹持的晶圆同轴设置的第一校准孔；与所述机械臂相对设置的载台；与所述载台同轴设置的中心结构；校准所述第一校准孔与所述中心结构的同轴度，确定所述机械臂的目标位置的第一校准件，其中，所述机械臂的目标位置为：所述晶圆与所述载台同心对准时，所述机械臂所处的位置。
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百度查询： 浙江创芯集成电路有限公司 半导体系统及校准方法
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