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申请/专利权人：常熟市兆恒众力精密机械有限公司
摘要：本发明公开了一种半导体晶圆清洗用耐磨吸盘，涉及到吸盘领域，包括吸盘，吸盘的一侧固定安装有密封环，吸盘上连通有吸引管，吸盘的底部设置有清洗底座，吸盘的上方设置有安装板，安装板上设置有负压管，吸盘、安装板和清洗底座上共同设置有锁紧组件，锁紧组件能够将吸盘锁紧在安装板，使负压管和吸引管连通。当吸盘和吸盘上的密封环发生磨损后，能够快速的将吸盘拆卸并安装新的吸盘，更换吸盘更方便和快捷，不会因更换吸盘而降低晶圆片的清洗效率，同时锁紧杆向上推动锁紧块移动，将吸盘锁紧在安装板上的同时能够将负压管和吸引管压紧，使负压管和吸引管之间的密封性更高，防止可拆卸设计导致的漏气，保证吸盘的负压吸引力更强。
主权项：1.一种半导体晶圆清洗用耐磨吸盘，包括吸盘（1），其特征在于：所述吸盘（1）的一侧固定安装有密封环（2），所述吸盘（1）上连通有吸引管（3），所述吸盘（1）的底部设置有清洗底座（4），所述吸盘（1）的上方设置有安装板（5），所述安装板（5）上设置有负压管（6），所述吸盘（1）、安装板（5）和所述清洗底座（4）上共同设置有锁紧组件（7），所述锁紧组件（7）能够将所述吸盘（1）锁紧在所述安装板（5），使所述负压管（6）和所述吸引管（3）连通；所述锁紧组件（7）包括若干个锁紧单元（71），所述锁紧单元（71）包括锁紧杆（711）和锁紧块（712），所述锁紧块（712）设置在吸盘（1）上，所述锁紧杆（711）设置在所述安装板（5）上，所述锁紧杆（711）能够垂直移动，且所述锁紧杆（711）在垂直移动时能够水平移动。
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百度查询： 常熟市兆恒众力精密机械有限公司 一种半导体晶圆清洗用耐磨吸盘
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