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申请/专利权人：湖南艾立克海绵制品有限公司
摘要：本发明公开了一种微电子制造的晶圆片制备用单晶硅锭切割设备，包括加工平台，所述加工平台底部的两侧均固定安装有支撑竖板，且右侧的支撑竖板内侧固定安装有电动气缸，所述电动气缸的输出端固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定安装有切割轮，所述切割轮的上部分通过通槽延伸至加工平台的顶部。本发明通过在前置连接板的内部增加移动槽、螺纹导向块和螺纹杆，在对单晶硅锭切割时可对第一夹持块的横向位置进行移动调整，而且第二夹持块在加工平台上的位置可以纵向移动调节，并能保证第一夹持块与第二夹持块始终相对应，在不移动切割设备的前提下能对适用于不同宽度大小的单晶硅锭，并能提高夹持切割效率。
主权项：1.一种微电子制造的晶圆片制备用单晶硅锭切割设备，包括加工平台（1），其特征在于：所述加工平台（1）底部的两侧均固定安装有支撑竖板（2），且右侧的支撑竖板（2）内侧固定安装有电动气缸（5），所述电动气缸（5）的输出端固定安装有驱动电机（6），所述驱动电机（6）的输出轴固定安装有切割轮（7），所述切割轮（7）的上部分通过通槽延伸至加工平台（1）的顶部，所述加工平台（1）顶部的前后两侧分别安装有前置连接板（11）和后置连接板（14），所述前置连接板（11）的中部开设有移动槽（12），所述移动槽（12）的内部滑动安装有螺纹导向块（20），所述螺纹导向块（20）的内部螺纹安装有螺纹杆（21），所述螺纹杆（21）的前端固定安装有转盘（22），所述螺纹杆（21）的后端转动安装有第一夹持块（13），所述后置连接板（14）的正面固定安装有第二夹持块（15），所述后置连接板（14）的底部固定安装有调节板（16），所述调节板（16）的中部螺纹安装有旋钮（17）。
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权利要求：
百度查询： 湖南艾立克海绵制品有限公司 一种微电子制造的晶圆片制备用单晶硅锭切割设备
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