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申请/专利权人：江苏希太芯科技有限公司

摘要：本发明提供了一种可移动式晶圆检测原子力显微镜，涉及晶圆检测技术领域，包括：固定部；所述固定部的内部设有调整部；所述固定部的上方设有控制部；所述控制部的底部设有护针部；所述护针部的内部设有检测部；通过同步框架上的电动伸缩杆控制外卡架远离或卡紧扭转台，方便配合移动台控制扭转台进行转动或移动的调节，使扭转台在进行往复移动时进行网格状测量，而在转动时进行环状测量，方便使检测后的成像更加细致准确,解决了就目前传统原子力显微镜而言，其检测探针始终保持竖直状态，使在需要进行搬运移动的状况时于发生碰撞，导致检测探针因受到损伤而影响正常使用的问题。

主权项：1.一种可移动式晶圆检测原子力显微镜，包括：固定部（1）；所述固定部（1）包括支撑台（101）、移动台（102）以及竖架（103）；所述竖架（103）设置为U形结构，竖架（103）的外壁上设有圆柱状凸起，竖架（103）共设有四组，四组竖架（103）分别固接于支撑台（101）的外壁上；其特征在于，所述固定部（1）的内部设有调整部（2），且调整部（2）包括同步框架（201）、外卡架（202）、顶紧头（203）以及扭转台（204）；所述同步框架（201）通过螺钉固定在移动台（102）的顶部，扭转台（204）与移动台（102）内的扭转电机相连接；所述外卡架（202）设置为矩形块状结构，外卡架（202）的底部设有U形凸起，外卡架（202）的内部设有伸缩槽，外卡架（202）共设有两组，两组外卡架（202）分别通过U形凸起与同步框架（201）的两组电动伸缩杆相连接，两组外卡架（202）分别滑动连接在同步框架（201）上；所述顶紧头（203）设置为圆柱状结构，顶紧头（203）上设有矩形框架状凸起，顶紧头（203）上设有弹簧，顶紧头（203）共设有两组，两组顶紧头（203）分别滑动连接在两组外卡架（202）的伸缩槽内；所述固定部（1）的上方设有控制部（3），且控制部（3）包括滑动架（301）；所述滑动架（301）滑动连接在竖架（103）上，滑动架（301）上的电动伸缩杆与竖架（103）相连接；所述控制部（3）的底部设有护针部（4），且护针部（4）包括顶护块（401）、约束架（402）以及护针块（403）；所述顶护块（401）通过螺钉固定在中控块（302）的底部；所述护针块（403）设置为矩形块状结构，护针块（403）上设有握柄，护针块（403）的外壁上设有两组T形块，护针块（403）的两组T形块上分别设有弹簧，护针块（403）上开设有圆形护针孔，护针块（403）滑动连接在顶护块（401）的两组T形滑动槽内；所述护针部（4）的内部设有检测部（5），且检测部（5）包括翻转架（501）、对接块（502）、伸缩针（503）以及对接插槽（504）；所述翻转架（501）转动连接在顶护块（401）内，伸缩针（503）插在护针块（403）的内部，对接插槽（504）内插有约束架（402）；所述伸缩针（503）为检测探针结构，伸缩针（503）的顶部设有弹簧，伸缩针（503）滑动连接在对接块（502）的圆形凹槽内；所述对接插槽（504）设置为圆形插槽，对接插槽（504）等距开设在翻转架（501）的圆形状凸起上。

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