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申请/专利权人:深圳市辰中科技有限公司
摘要:本实用新型及半导体技术领域,特别是涉及一种光罩的传输装置及半导体制造设备,所述光罩的传输装置包括:转运轨道,布设于光罩的存放位置到上料位置的顶部;抓取组件,滑动连接于所述转运轨道上;清洁室,设置于所述存放位置和所述上料位置之间;其中,所述抓取组件从所述存放位置抓取所述光罩,并移动至所述清洁室内进行清洁后,将清洁后的所述光罩移动至所述上料位置。本实用新型结构简单、可靠性高,可将光罩自动化清洁后转运至上料位置,本实用新型提高了半导体的刻蚀效率,同时降低了光罩的损伤率和降低了生产成本。
主权项:1.一种光罩的传输装置,其特征在于,包括:转运轨道,布设于光罩的存放位置到上料位置的顶部;抓取组件,滑动连接于所述转运轨道上;清洁室,设置于所述存放位置和所述上料位置之间;其中,所述抓取组件从所述存放位置抓取所述光罩,并移动至所述清洁室内进行清洁后,将清洁后的所述光罩移动至所述上料位置。
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