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申请/专利权人：苏州德龙激光股份有限公司
摘要：本实用新型涉及一种兼容六寸和八寸晶圆的吸附载台，包括旋转电机底座、吸附载台、旋转电机定子和旋转电机动子，旋转电机底座通过若干个水平调节螺栓与上方的旋转电机定子连接在一起，旋转电机定子顶部的旋转电机动子与上方的吸附载台连接在一起。本实用新型可同时兼容六寸和八寸晶圆的吸附载台，即使用一个吸附载台，可完成六寸和八寸两种尺寸规格的晶圆加工。本实用新型可减少设备投入成本，缩短调试周期，加快产线作业效率。
主权项：1.兼容六寸和八寸晶圆的吸附载台，包括旋转电机底座1、吸附载台3、旋转电机定子21和旋转电机动子22，所述旋转电机底座1通过若干个水平调节螺栓2与上方的旋转电机定子21连接在一起，所述旋转电机定子21顶部的旋转电机动子22与上方的吸附载台3连接在一起；其特征在于：所述吸附载台3下方的旋转电机定子21和旋转电机动子22中部的空腔内设置有滑环组件，所述滑环组件从下往上依次包括滑环定子16和滑环动子17，所述滑环定子16的底部通过底部盖板20安装在旋转电机底座1上，所述滑环动子17的顶部通过滑环上固定板19安装在吸附载台3底部的陶瓷底座9中间位置；四个微型气接头15分别拧入所述滑环定子16的四个进气通道中，第一和第二所述进气通道分别与位于陶瓷底座9内的通道a和通道b相连通，所述通道a和通道b均与吸附载台3上八寸吸附区域E内的真空腔H相连通；第四所述进气通道与位于陶瓷底座9内的通道d相连通，所述通道d与吸附载台3上六寸吸附区域S内的真空腔H相连通。
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权利要求：
百度查询： 苏州德龙激光股份有限公司 兼容六寸和八寸晶圆的吸附载台
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