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一种螺旋式挡板机构 

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申请/专利权人:成都兴南真科科技有限责任公司

摘要:一种螺旋式挡板机构,包括旋转组件、下连杆、升降套、外座、挡板组件。旋转组件设于真空镀膜机的底板下方。下连杆,设于旋转组件输出轴上端,下连杆的上部外周侧贯穿地开设有第一腰型孔,第一腰型孔内滑动配合有传动销。升降套设于下连杆的外周侧,升降套下部的周侧贯穿开设有销孔,传动销固定穿设于销孔,升降套外周侧开设有螺旋槽,升降套上端设有升降杆。外座设于升降套的外周侧,且升降杆穿设于外座上端,外座周侧贯穿开设有多个侧孔,侧孔内固定穿设有圆头销,其内侧的圆头部滑动配合于螺旋槽。挡板组件设于升降杆外周侧,包括位于升降杆外周侧且与升降杆具有预定距离的挡板。该机构能够显著减少挡板对蒸发源的蒸发角影响,提高镀膜质量。

主权项:1.一种螺旋式挡板机构,其特征在于,包括设于真空镀膜机的底板(7)下方的旋转组件(1),还包括:下连杆(3),设于旋转组件(1)输出轴上端,下连杆(3)的上部外周侧贯穿地开设有第一腰型孔(31),第一腰型孔(31)内滑动配合有传动销(32);升降套(4),设于下连杆(3)的外周侧,升降套(4)下部的周侧贯穿开设有销孔(41),传动销(32)固定穿设于销孔(41),升降套(4)外周侧开设有螺旋槽(42),升降套(4)上端设有升降杆(43);外座(5),设于升降套(4)的外周侧,且升降杆(43)穿设于外座(5)上端,外座(5)周侧贯穿开设有多个侧孔(53),侧孔(53)内固定穿设有圆头销(54),其内侧的圆头部滑动配合于螺旋槽(42);挡板组件(6),设于升降杆(43)外周侧,包括位于升降杆(43)外周侧且与升降杆(43)具有预定距离的挡板(67)。

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