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一种分子泵自动跑脂的控制电路 

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申请/专利权人:北京中科科仪股份有限公司

摘要:本发明涉及自动控制技术领域,公开了一种分子泵自动跑脂的控制电路,包括:总控开关支路,其第三端、第四端分别与每个单控开关支路的第一端、第二端连接;单控开关支路,其第三端、第四端与一个分子泵驱动器的两个供电端对应连接,其控制端与控制器的第一端连接;控制器,用于设置每个单控开关支路跑脂时间、每个分子泵驱动器的跑脂频率;当总控开关支路闭合后,控制器控制单控开关支路闭合预设次数,每次闭合时间为一个跑脂周期的跑脂时间。本发明提供的控制电路,通过总控开关支路连接多个单控开关支路的分子泵,实现一控多的目的,使分子泵根据预设的跑脂周期、跑脂时间及对应分子泵驱动器的跑脂频率进行跑脂,提高了跑脂效率和自动化程度。

主权项:1.一种分子泵自动跑脂的控制电路,其特征在于,包括:总控开关支路、多个单控开关支路及控制器,其中,总控开关支路,其第一端、第二端分别与相线、零线连接,其第三端、第四端分别与每个所述单控开关支路的第一端、第二端连接;单控开关支路,其第三端、第四端与一个分子泵驱动器的两个供电端对应连接,其控制端与所述控制器的第一端连接;所述单控开关支路包括:开关电路及时间控制电路,其中,开关电路,其第一端与所述总控开关支路的第三端连接,其第二端与所述总控开关支路的第四端连接,其第三端与所述时间控制电路的第一端连接,其第四端与所述时间控制电路的第二端连接;时间控制电路,其第三端、第四端与一个分子泵驱动器的两个供电端对应连接;当所述总控开关支路闭合后,所述控制器控制所述开关电路闭合,所述控制器控制所述时间控制电路运行多个跑脂周期,并且在每个跑脂周期内,所述控制器控制该开关电路所连接的分子泵驱动器按照对应的跑脂频率驱动分子泵跑脂;控制器,其第二端与每个所述分子泵驱动器连接,其用于设置每个单控开关支路的每个跑脂周期的跑脂时间、每个分子泵驱动器的多个跑脂频率;当所述总控开关支路闭合后,所述控制器控制至少一个单控开关支路闭合预设次数,每次闭合时间为一个跑脂周期的跑脂时间,并且在每个跑脂周期内,所述控制器控制该单控开关支路所连接的分子泵驱动器按照对应的跑脂频率驱动分子泵跑脂。

全文数据:

权利要求:

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