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申请/专利权人：澄利新材料(包头)有限公司
摘要：本发明公开了一种坩埚模具，通过在模具本体的R角位置连通旁路真空管道，能够实现对坩埚模具的特定区域，即R角区域的抽真空，从而减小石英坩埚R角处产生气泡的概率。本发明还公开了一种坩埚熔制系统，通过改变真空泵的数量改变坩埚熔制系统能够对坩埚模具的抽真空速率，从而满足坩埚模具的主真空管道和旁路真空管道的同时抽真空，进一步减小石英坩埚R角处产生气泡的概率。本发明还公开了一种坩埚熔制方法，通过抽真空组件对熔制设备的坩埚模具执行抽真空操作，并通过控制抽真空步骤的介入时间、抽真空时长、最大真空度、熔制功率大小、真空阀的开度等参数，来调节抽真空的效果，以减小石英坩埚R角处产生气泡的概率，提高石英坩埚的生产质量。
主权项：1.一种坩埚模具，其特征在于，包括模具本体和水冷套，其中：所述水冷套套设于所述模具本体的外部，且所述模具本体与所述水冷套之间留有抽气间隙；所述模具本体开设有与所述抽气间隙相连通的多个真空孔；所述水冷套包括主真空管道和旁路真空管道；所述主真空管道与所述抽气间隙相连通；所述旁路真空管道的第一端与所述主真空管道相连通，所述旁路真空管道的第二端的位置与所述模具本体的R角位置相对应，且与所述抽气间隙相连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 澄利新材料(包头)有限公司 一种坩埚模具、坩埚熔制系统及坩埚熔制方法
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