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一种功率半导体器件键合线失效的在线监测装置及方法 

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申请/专利权人:西安交通大学;国网上海市电力公司

摘要:本发明公开了一种功率半导体器件键合线失效的在线监测装置及方法,包括电流传感器、磁场测量模块及键合线状态判断模块;所述电流传感器用于监测流通功率半导体器件或键合线的电流;所述磁场测量模块包括磁场传感器、仪表放大器、温度传感器及微控制器;所述磁场传感器用于测量电流流经键合线时产生的磁场,所述仪表放大器用于放大磁场传感器的输出信号,所述温度传感器用于测量键合线附近的温度,所述微控制器用于接收温度传感器所测量的温度数据,并根据温度数据调整仪表放大器的放大系数,以对磁场传感器进行温度补偿;所述键合线状态判断模块通过比较所述电流传感器所测得的电流和所述磁场测量模块所测得的磁场,判断键合线失效情况。

主权项:1.一种功率半导体器件键合线失效的在线监测装置,其特征在于,包括电流传感器、磁场测量模块及键合线状态判断模块;所述电流传感器用于监测流通功率半导体器件或键合线的电流;所述磁场测量模块包括磁场传感器、仪表放大器、温度传感器及微控制器;所述磁场传感器用于测量电流流经键合线时产生的磁场,所述仪表放大器用于放大磁场传感器的输出信号,所述温度传感器用于测量键合线附近的温度,所述微控制器用于接收温度传感器所测量的温度数据,并根据温度数据调整仪表放大器的放大系数,以对磁场传感器进行温度补偿;所述键合线状态判断模块通过比较所述电流传感器所测得的电流和所述磁场测量模块所测得的磁场,判断键合线失效情况。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安交通大学 国网上海市电力公司 一种功率半导体器件键合线失效的在线监测装置及方法

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