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申请/专利权人:浜松光子学株式会社
摘要:本发明的能量线检测系统具备:真空容器2及n个电路单元8,该真空容器2具有第1冷头23,该n个电路单元8具有:第1信号线81;检测元件82,其连接于第1信号线81的一端子81a,在低温状态下检测能量线;信号处理电路84,其包含连接于第1信号线81的另一端子81b的放大器85、电流源86及分路电阻87。第1信号线81的电阻值R大于基于第1信号线81的条数n、第1信号线81的一端子81a侧的温度T1、第1信号线81的另一端子81b侧的温度T2、及冷却器的冷却能力Wc而得的值,小于基于噪声容许电压VN、分路电阻的电阻值Rsh、在检测元件82为关断的情况及为导通的情况下的电阻值Rs、Rn、及在检测元件82为关断的情况下的电流Ib而得的值。
主权项:1.一种能量线检测系统,其中,具备:真空容器,其具有冷却器;以及n个电路单元,其具有:信号线,其至少一部分容纳于所述真空容器;检测元件,其容纳于所述真空容器,连接于所述信号线的一端子与规定电位之间,在低温状态下检测能量线;及信号处理电路,其直接或间接地连接于所述信号线的另一端子,配置于所述真空容器的外部,其中,n为2以上的整数,所述信号处理电路包含:放大器,其连接于所述另一端子;以及电流源及电路要件,其相互并联地连接于所述另一端子与所述规定电位之间,所述信号线的电阻值R:大于基于所述信号线的条数n、所述信号线的所述一端子侧的温度T1、所述信号线的所述另一端子侧的温度T2、及所述冷却器的冷却能力Wc而算出的值;小于基于所述放大器的噪声容许电压VN、所述电路要件的阻抗Zsh、所述检测元件不检测能量线的情况下的电阻值Rs、所述检测元件检测能量线的情况下的电阻值Rn、及在所述检测元件不检测能量线的情况下流经所述检测元件的电流Ib而算出的值。
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