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申请/专利权人：厦门金鹭特种合金有限公司;广东工业大学;厦门钨业股份有限公司
摘要：本发明涉及一种阴极电源脉冲与偏压电源脉冲的同步方法及磁控溅射方法，所述同步方法包括：磁控溅射时，N个阴极的脉冲电源等间隔循环输出，同时同步脉冲偏压电源的输出频率，实现阴极电源脉冲与偏压电源脉冲的同步；其中，N为≥1的整数；N个阴极的脉冲电源的输出频率f相同。本发明提供的同步方法能够缩短偏压充电时间，提高偏压占空比，增大有效偏压值；还能够使阴极峰值电流不发生叠加、扩大，降低转架与偏压打弧风险；此外，阴极各脉冲之间的间隔时间缩短，能够长时间保持沉积腔室内等离子体处于强束流以及高密度的状态，有利于提高成膜质量。
主权项：1.一种阴极电源脉冲与偏压电源脉冲的同步方法，其特征在于，所述同步方法包括：磁控溅射时，N个阴极的脉冲电源等间隔循环输出，同时同步脉冲偏压电源的输出频率，实现阴极电源脉冲与偏压电源脉冲的同步；其中，N为≥1的整数；N个阴极的脉冲电源的输出频率f相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门金鹭特种合金有限公司 广东工业大学 厦门钨业股份有限公司 阴极电源脉冲与偏压电源脉冲的同步方法及磁控溅射方法
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